AWM2000 系列微桥气体质量流量传感器是由两个惠斯通桥构成的被动装置。根据操作规范，还需具备发热器控制电路。根据操作规范，还需具备传感桥供电电路。这两种电路不在封装电路板上，因此必须在应用中提供。差分放大器是一个有用的传感桥接口。它可用于增加增益并将电压偏置引入传感器输出。

• 补偿温度范围

• -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

• 流量/压力范围

• ±30.0 sccm

• ±1000 sccm (1 SLPM)

• ±10.0 mbar [4.0 H20]

• ±200 sccm

• 电源电压

• 最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc

• UNSPSC 代码

• 41111931

• 冲击

• 100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)

• 输出温漂

• ±5% 读数

• 零位

• ±1 mV dc

• 端口类型

• 直

• 信号调节

• 非放大式 (mV)

• 传感器电流

• 最大 0.6 mA

• 可重复性

• ±0.35% 读数

• ±1% 读数

• UNSPSC 商品

• 41111931 流量传感器

• 调整点的输出电压

• 650 sccm 时，50.0 mV dc

• 在水中 2.0 时，20.0 mV dc

• 25 sccm 时，11.8 mV dc

• 100 sccm 时，30.0 mV dc

• 存储温度

• -40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F]

• 介质兼容性

• 仅干燥气体

• 氢气

• 重量

• 10.8 g

• 系列名称

• AWM2000

• 功耗

• 典型值 30 mW，最大 50 mW

• 工作温度

• -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

• 整个温度范围内的零位

• ±0.20 mV dc

• 响应时间

• 典型值 1 ms，最大 3 ms

• 共模压力

• 25 psi